Миниатюрные тензодатчики — это прецизионные устройства-измерения силы, разработанные на основе технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС). Относясь к категории микроэлектромеханических устройств, их размеры можно уменьшить до нескольких миллиметров, а вес – всего до нескольких граммов. В первую очередь они достигают измерения путем генерации электрических сигналов посредством механической деформации миниатюрной диафрагмы. Их основным компонентом является тензодатчик МЭМС, который с использованием передовой технологии сплавлен с подложкой из нержавеющей стали и жаростойким-стеклом.
К этому оборудованию относятся такие типы, как миниатюрные датчики давления и миниатюрные акселерометры, отличающиеся низкой-деформацией, высокой чувствительностью, работой в пределах-диапазона и встроенным-модулем термокомпенсации. Технология композитной упаковки позволяет контролировать температурный дрейф в пределах ±0,005%/градус. Его области применения расширились до интеллектуальных носимых устройств, бытовой электроники, систем привода спутниковых солнечных панелей, систем обратной связи по усилию суставов хирургических роботов, мониторинга давления в желудочно-кишечном тракте, интеллектуального складирования IoT и систем раннего предупреждения о перегреве для аккумуляторных блоков транспортных средств на новых источниках энергии.