Разработка миниатюрных датчиков взвешивания тесно связана с развитием технологии МЭМС (микро-электро-механических систем). Технология MEMS позволяет уменьшить размеры датчиков до нескольких миллиметров и весить всего несколько граммов, что позволяет интегрировать их в интеллектуальные носимые устройства (например, функции контроля веса в умных часах) и бытовую электронику (например, чувствительные к давлению кнопки на смартфонах), тем самым расширяя границы применения датчиков взвешивания.
Основной технологический прорыв заключается в наномасштабной оптимизации полупроводниковых пьезорезистивных чувствительных элементов. За счет ионной имплантации и процессов осаждения тонких-пленок достигается высокая-точность обнаружения 0,01 %. В технологии композитной упаковки используется двухслойная структура из силикона-металла-, обеспечивающая защиту от влаги и пыли и контролирующая температурный дрейф в пределах ±0,005 %/градус. Продолжают появляться инновационные разработки, в том числе гибкие датчики подложек и решения по электромагнитной индукции.
В спутниковых системах привода солнечных панелей миниатюрные датчики веса обеспечивают точные измерения на уровне 0,1 Н·м с дрейфом нуля менее 0,01% полной шкалы в вакуумной среде, что обеспечивает плавное и точное развертывание солнечной панели. В области медицинского оборудования миниатюрные датчики успешно применяются в системах обратной связи по силе суставов хирургических роботов, повышая точность работы до суб-уровня.