Принцип работы миниатюрных датчиков веса основан в первую очередь на эффекте деформации. Когда датчик подвергается воздействию внешней силы, его внутренний упругий чувствительный элемент подвергается незначительной механической деформации. Эта деформация вызывает соответствующее изменение сопротивления тензодатчика (тензометрической пластины), прикрепленного или встроенного в упругое тело. В датчике обычно используется мост Уитстона (полная-мостовая схема) для преобразования изменения сопротивления тензодатчика в выходной сигнал слабого напряжения, пропорциональный приложенной силе.
С развитием технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС) размер миниатюрных тензодатчиков был значительно уменьшен. Ее основная технология также расширилась до полупроводниковых пьезорезистивных чувствительных элементов, производя пьезорезисторы на кремниевых подложках с использованием таких процессов, как ионная имплантация и осаждение тонких-пленок. Кроме того, инновационная конструкция гибкой подложки позволяет датчику приспосабливаться к изогнутым поверхностям для измерения.
